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Horiba自動壓力控制器R600 HORIBA壓力控制器的基本特點(diǎn) 1、控制類型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門類型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數(shù)字RS485

Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-8000 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn) 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計(jì) 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z500X 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn) 該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應(yīng) 裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)?？勺?PID 根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程

horiba流量計(jì)SEC-Z700S可以直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內(nèi)部無障礙物和活動部件，因而可靠性高、壽命長。

Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機(jī)臺、Etch機(jī)臺中的氣體控制核心部件

Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500$n壓力非敏感性$n自帶顯示功能$n控制范圍廣$n可應(yīng)對多種氣體、多種量程、$n不同壓力條件$n高精度$n高速響應(yīng)$n適用于高精工藝需求